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被廣泛用于多個(gè)領(lǐng)域中的高純氮色譜分析儀
高純氮在集成電路、半導(dǎo)體和電真空器件制造中用作保護(hù)氣和運(yùn)載氣,化學(xué)氣相淀積時(shí)的載氣,液體擴(kuò)散源的攜帶氣,在高溫?cái)U(kuò)散爐中用作器件的保護(hù)氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中,作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮?dú)饧兌葹?9.99%以上。在航天技術(shù)中,液氫加注系統(tǒng)必須先用高純氮置換,再用高純氦置換。
色譜分析儀包括進(jìn)樣系統(tǒng)、檢測系統(tǒng)、記錄和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)、溫控系統(tǒng)以及流動相控制系統(tǒng)等。現(xiàn)代的色譜儀具有穩(wěn)定性、靈敏性、多用性和自動化程度高等特點(diǎn)。有氣相色譜儀、液相色譜儀和凝膠色譜儀等。這些色譜儀廣泛地用于化學(xué)產(chǎn)品,高分子材料的某種含量的分析,凝膠色譜還可以測定高分子材料的分子量及其分布。
色譜法也叫層析法,它是一種高效能的物理分離技術(shù),將它用于分析化學(xué)并配合適當(dāng)?shù)臋z測手段,就成為色譜分析法。現(xiàn)在的色譜法早已不局限于色素的分離,其方法也早已得到了極大的發(fā)展,但其分離的原理仍然是一樣的。我們?nèi)匀唤兴V分析。色譜分析儀是應(yīng)用色譜法對物質(zhì)進(jìn)行定性、定量分析, 及研究物質(zhì)的物理、化學(xué)特性的儀器,被廣泛用于多個(gè)領(lǐng)域中。