氣體中的微量氧含量是氣體產(chǎn)品質(zhì)量的一項(xiàng)重要指標(biāo)，除產(chǎn)品氧和中間產(chǎn)品外，其他各種空分氣體均需對(duì)其中的微量氧進(jìn)行分析。因?yàn)檠鯕馐蔷哂醒趸?，而空分氣體主要做為保護(hù)氣體，主要就是為了隔絕氧氣，無(wú)論是氮?dú)膺€是惰性氣體中的氬氣、氪氣和氙氣，其中的微量氧含量都是一項(xiàng)主要的質(zhì)量指標(biāo)。

      微量氧的分析方法主要有比色法、化學(xué)電池法、黃磷發(fā)光法、濃差電池法和氣相色譜法。其中比色法是較早采用的分析方法，它是標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的方法，利用銅氨溶液進(jìn)行比色分析，由于操作復(fù)雜，準(zhǔn)確度難以保證，并且不能實(shí)現(xiàn)自動(dòng)在線分析，現(xiàn)在已很少采用，不過(guò)它還是一種仲裁方法。黃磷發(fā)光法是利用氧氣與黃磷氧化燃燒進(jìn)行分析，具有分析速度快，可以連續(xù)分析的特點(diǎn)，但該方法采用的黃磷是危險(xiǎn)化學(xué)品，生成的產(chǎn)物具有腐蝕性，并且檢測(cè)限低，所以現(xiàn)在已很少采用。在這里主要介紹化學(xué)電池法、濃差電池法和氣相色譜法。

1.化學(xué)電池法
     化學(xué)電池法的微量氧分析儀指的利用氧化還原電池的原理進(jìn)行微量氧分析，它的傳感器（檢測(cè)器）是化學(xué)原電池，主要由一個(gè)陰極，一個(gè)陽(yáng)極和電解液組成，以上部件密封于惰性的殼中，被測(cè)氣中的氧進(jìn)入電池中陰極附近Ｏ２得到電子，陽(yáng)極由金屬鉛制成，失去電子本身被氧化，電池產(chǎn)生的電子由電路引出然后進(jìn)行補(bǔ)償修正放大，即可測(cè)出被測(cè)氣中的氧含量。反應(yīng)式如下：
Ｏ２＋２Ｈ２Ｏ＋４e-→４０Ｈ- 陰極
Pb+2OH-→pbo+H2O+2e 陽(yáng)極
總反應(yīng)式2pb＋O2→2pbO
     因?qū)崿F(xiàn)方式的不同，可分為原電池法、燃料電池法和赫茲電池法，下面分別介紹。
1.1.原電池法
     原電池法的微氧儀是早期的產(chǎn)品，它的特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，檢測(cè)池是開(kāi)發(fā)式的，需要添加電解液，并可以清洗更換電極，使用成本較低。不過(guò)使用時(shí)要自配堿液，還要經(jīng)常添加蒸餾水，更換干燥劑硅膠，氣密性不易保證，維護(hù)起來(lái)比較麻煩。
1.2燃料電池法
     該類儀器是原電池儀器的集成化、微型化，它的傳感器（檢測(cè)器）是微燃料電池，主要由一個(gè)陰極，一個(gè)陽(yáng)極和電解液組成，以上部件密封于惰性的殼中，被測(cè)氣中的氧通過(guò)電池一面的（半透膜）擴(kuò)散膜進(jìn)入電池中，而內(nèi)部的電解液卻不能滲出，陰極由隋性的金屬制成，本身不參與氧化還原反應(yīng)，陰極附近Ｏ２得到電子，陽(yáng)極由金屬鉛制成，失去電子本身被氧化，電池產(chǎn)生的電子由電路引出檢測(cè)，即測(cè)出被測(cè)氣中的氧含量。它的關(guān)鍵技術(shù)是擴(kuò)散漫膜，可以定量控制氧的滲透，防止水的滲出，目前國(guó)內(nèi)還沒(méi)有可靠的產(chǎn)品。該類儀器的主要缺點(diǎn)是需定期更換傳感器，并且傳感器不能長(zhǎng)期儲(chǔ)存，對(duì)樣品的溫度和壓力敏感。
     國(guó)內(nèi)常見(jiàn)的該類儀器主要有英國(guó)SYSTECH公司的EC90和EC910系列,美國(guó)EDYNE公司的3000系列，美國(guó)AII公司的GPR系列，技術(shù)都比較成熟，此類儀器使用時(shí)要注意根據(jù)背景氣和干擾雜質(zhì)進(jìn)行選擇，才能得到準(zhǔn)確的結(jié)果。
1.3赫茲電池法
     赫茲電池式微氧儀算是化學(xué)電池法的一個(gè)特例，電極在使用過(guò)程中不消耗，類似一個(gè)電解池，儀器內(nèi)部提供1.300V直流電壓，提供電子轉(zhuǎn)移的能量，氧氣分子從樣氣入口進(jìn)入，樣氣出口排放出，電極、電解質(zhì)和樣品沒(méi)有任何損耗，陰極為碳合金，陽(yáng)極為鉑金絲，世界只有美國(guó)的DELTA.F公司生產(chǎn)，測(cè)量原理是（1）：
在陽(yáng)極板上（鉑金絲，樣氣出口）：４０Ｈ-→Ｏ２＋２Ｈ２Ｏ＋４e-
在陰極板上（碳合金，樣氣入口）：Ｏ２＋２Ｈ２Ｏ＋４e-→４０Ｈ-
     該儀器在使用過(guò)程中只需定期添加純凈水或去離子水，維護(hù)量很小，并且加水后儀器可以很快穩(wěn)定。適用于N2、HE、Ar、H2和碳?xì)浠锏鹊姆治?，低檢測(cè)限可達(dá)到75PPt，可靠性很高。

2濃差電池法
     濃差電池法也稱為氧化鋯電池法，它是利用氧化鋯元件為檢測(cè)器的關(guān)鍵部件，以它為主體構(gòu)成測(cè)氧電池，包括氧化鋯管及涂制在管底部的鉬電極和電極引線，電極引線可將信號(hào)引出；加熱爐用于加熱氧化鋯管，使它恒定在設(shè)定溫度（780±10℃）上；標(biāo)氣管用于接通標(biāo)氣，校準(zhǔn)探頭；熱電偶用于測(cè)量氧電池中的溫度，接入變送器溫控系統(tǒng)；接線板設(shè)有信號(hào)、熱電偶和加熱爐三對(duì)接線柱，其它還有過(guò)濾器、安裝法蘭和探頭外殼。如圖1所示，在氧化鋯管底的內(nèi)外表面有兩個(gè)鉑電極，即參比電極和測(cè)量電極，分別帶有兩根鉑引線，構(gòu)成一個(gè)氧化鋯測(cè)氧電池，即氧濃差電池,它在鉑電極的反應(yīng)原理是O2＋4e→2O2- ；2O2-→O2＋4e ,于是，兩電極間就形成了電位差，組成了濃差電池（2）。
     氧化鋯電池老化、積灰、SO2 和SO3 對(duì)電池的腐蝕等許多干擾因素的影響，運(yùn)行過(guò)程中，儀器參數(shù)將發(fā)生逐漸變化，而給測(cè)量帶來(lái)誤差，電池老化表現(xiàn)在內(nèi)阻升高和本底電勢(shì)增大兩個(gè)主要參數(shù)上。內(nèi)阻大于800Ω或本底電勢(shì)增大到（―25～―30）mV時(shí)，氧量顯示出現(xiàn)跳動(dòng)現(xiàn)象，響應(yīng)遲緩。為了使測(cè)量準(zhǔn)確，bi須定期用標(biāo)氣進(jìn)行校準(zhǔn)。
     產(chǎn)品氮中微量氧分析是用的進(jìn)口的ZR810型氧分析器，此儀器屬氧化鋯式，有兩個(gè)檢測(cè)器，可同時(shí)分析出氣中氧和水的含量，自動(dòng)量程轉(zhuǎn)換，可數(shù)顯出0.01×10-4%-100%的范圍，使用時(shí)只保證氣流量在150ml/min，通電恒溫至650℃即可快速，準(zhǔn)備分析出樣品氣中的氧和水含量，所以此儀器用起來(lái)也非常方便。
     氧化鋯濃差電池的主要缺點(diǎn)是還原性雜質(zhì)對(duì)微量氧的分析有影響。因?yàn)樵?00－800攝氏度的情況下，還原性物質(zhì)可以與氧發(fā)生反應(yīng)，消耗氧使分析結(jié)果偏低,它的主要優(yōu)點(diǎn)是量程范圍寬，可覆蓋常量至微量的氧含量分析，使用方便，使用壽命長(zhǎng)。

3氣相色譜法
     氣相色譜法進(jìn)行微量氧分析的優(yōu)勢(shì)在于多種雜質(zhì)可以同時(shí)檢測(cè)，因?yàn)榭辗謿庵械碾s質(zhì)分離比較容易，所以色譜柱系統(tǒng)的配置簡(jiǎn)單。在進(jìn)行包含微量氧的多種雜質(zhì)檢測(cè)時(shí)，選擇色譜分析比較合適?？梢赃x擇的色譜檢測(cè)器主要有熱導(dǎo)檢測(cè)器、電子捕獲檢測(cè)器、氦離子化檢測(cè)器、氬離子化檢測(cè)器、放電離子化檢測(cè)器等，下面進(jìn)行簡(jiǎn)要介紹。
     選擇色譜檢測(cè)器主要考慮所測(cè)樣品的性質(zhì)，例如主組分的成份、干擾雜質(zhì)的含量和對(duì)檢測(cè)器的適應(yīng)性。如氦離子化檢測(cè)器、放電離子化檢測(cè)器和電磁感應(yīng)檢測(cè)器進(jìn)行氦氣中微量氧；而氬離子化檢測(cè)器、電磁感應(yīng)檢測(cè)器進(jìn)行氬氣中微量氧分析就十分方便，不必進(jìn)行主主組分的處理。再就是要根據(jù)微量氧的檢測(cè)范圍來(lái)選擇，熱導(dǎo)檢測(cè)器的檢測(cè)限較高，不適合較低含量的微量氧分析，而氦離子化檢測(cè)器、氬離子化檢測(cè)器、放電離子化檢測(cè)器可以進(jìn)行PPb及微量氧分析。
     色譜法進(jìn)行微量氧分析的缺點(diǎn)是無(wú)法實(shí)現(xiàn)zheng正意義上的在線分析，就是所不能對(duì)微量氧進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控，需要間斷的檢測(cè)，并且設(shè)備系統(tǒng)復(fù)雜，需要載氣、輔助氣等。