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地 址:大連甘井子區(qū)天虹工業(yè)園
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GC-LTH型氣相色譜儀適用于高純氣體、超高純氣體及電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)。該產(chǎn)品配置氬離子化(AID)檢測(cè)器;采用帶吹掃保護(hù)氣路的六通或十通閥;上述部分與氬氣純化器、無(wú)死體積取樣閥等部件一起組成一套完整及解決方案。
組分檢測(cè)限:
組分 檢測(cè)限(ppm)
CO ≤0.1
CH4 ≤0.1
CO2 ≤0.1
O2 ≤0.1
H2 ≤0.1
N2 ≤0.1
操作系統(tǒng)
該儀器通過(guò)中心切割與反吹系統(tǒng)可完成包括高純氮、高純氫、高純氧、高純二氧化碳、高純氬、氪氣、氙氣、氖氣等高純氣體以及硅烷等電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)。
去除氣體:H2、O2、N2、CO、CO2、CH2、H20等
載氣純化器:惰性氣體
可大操作壓力:2Mpa
殘留濃度:≤20ppb
無(wú)死體積取樣閥
載氣專用減壓閥
背壓閥控制的進(jìn)樣技術(shù)
外型尺寸:580550500(mm)
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